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● 产品名称:Double Slot Cassette |
● 产品编码:
无舌片款:DB-C200-T
有舌片款:DB-C200-B |
● 产品尺寸:
240(L) x 250(W) x 225(H)mm(8") |
● 重 量:900g |
● 容 量:13 PCS |
● 适用圆形基底尺寸:6 inch / 8 inch |
● 组成材质:客制化 |
● 槽 距:12.7mm |
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制程晶舟盒/晶圆盒/晶圆传送盒/亚洲第一信誉网
承载半导体晶圆片的容器,使用在站别运输或出货用途,不可使用于化学制程。
● 可选抗静电材料
● Thin Wafer承载方案
● 厂内传送使用 |
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8吋Double Slot Cassette-无舌片 |
6吋Double Slot Cassette-有舌片 |
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材质 |
耐温度 |
特性 |
Cassette 应用 |
PFA Cassette |
200~220℃ |
耐 强酸 强氟酸 强硷 |
酸硷制程中使用 |
PP Cassette |
40~60℃ |
重量轻,可焊接。 |
一般传输制程 |
PEEK Cassette |
120℃ |
硬度高、耐磨,
不易变形。 |
PC Cassette |
80~100℃ |
尺寸安定性佳、耐候性佳、不易应力变形 |
PEI Cassette |
130~150℃ |
耐磨、抗静电性。 |
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● 可雷雕、可装RFID进行载具&材料追踪 |
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Cassette 加装RFID |
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Cassette 雷雕 |
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