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新闻/媒体报导


	【新闻报导】抢攻商机中勤展出新品与方案
	发佈日期：2017-03-08 09:02:30 经济日报杨连基

	专注在客制化光罩、晶圆、玻璃传载储存载具的中勤实业，将于3月14日至16日参加2017上海半导体展（SEMICON China，摊位号码W2-2163），展出各类型储存载具及新产品开发成果，更重点展示「自动化载具整合应用、先进封装制程自动化与材料解决方案」，可有效透过材料运用，于先进制程中的微污染防治，提供光罩、晶圆、玻璃乘载与保护的最佳方案。中勤实业将于3月14日至16日参加2017 SEMICON China，展出各类型储存载具及新产品开发成果。中勤实业／提供该公司近年来专研光罩防护载具RSP150、RSP200、BKM7领域，从而改善光罩盒N2週期时间，减慢消散速度，并对光罩保持高度灵敏，可让客户摆脱任何设备上对光罩规则的束缚，因此可以最大限度的增强光罩盒中的制程储存防护效果。光罩的使用过程中，可能有微粒物质掉落至光罩，雷射也可能导致光罩产生光化学污染，藉由气体流量循环与高分子材料技术，使光罩品质都与其在洁净状态时一样良好。中勤实业的光罩盒于2016年下半年度广受客户好评，成功导入半导体业界国内龙头厂的新竹、台南多处工厂，以及知名半导体厂的新竹、台南、新加坡、厦门工厂等客户端。光罩产品部正积极支援客户发展EUV光罩制程，为降低EUV光罩盒（EUV POD）的微粒，研发部正积极与客户联手研发高性能与低成本的解决方案，提供结构机械强度、钢性高，耐温、耐化学与水解性能及尺寸稳定，良好气体循环，具备优异的抗紫外线性能与耐高能辐射性能（γ射线与Χ射线），应用于制程中及全自动搬运轨道系统。有鑑于产业客户端正积极朝向四大平台发展，包括：行动、车用电子、物联网及高效能运算，而这些平台产品皆需要大量的资料处理及运算。谈及运算，均由摩尔定律推动的。中勤实业总经理暨技术长江枝茂对于摩尔定律的延续相当乐观也有信心，更谈及为未来「超越摩尔定律」的各项技术开发并建置产能。对于先进制程的发展，江枝茂表示，客户端在先进制程上的开发速度愈来愈快，10奈米制程自去年第2季进入量产，预计今年下半年将进一步放量；7奈米预计今年下半年试产、2018年量产。因应相关新的技术，该公司在载具结构设计、材料应用上透露，7奈米材料今年初已步入研发准备，共计投入逾100名研发人员，预计2018年下半年试产；亦着手与客户端在共同研发及绿色制造方面共同努力，除了营利外也重视环保议题。未来将因应客户需求，稳定扩充其10奈米的高阶光罩设计人才，并持续优化各项制程，以其材料分析技术到产品等各领域的应用，不断的寻求创造新应用与新服务的脚步，以开拓更多潜在的商机。中勤实业网址：www.zgxiaobb.com。新闻连结 https://money.udn.com/money/story/5735/2328521


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