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2019-03-27 12:13经济日报 杨连基

中勤新开发的RSP150光罩智慧传载产品线，已进入半导体一线大厂使用。 中勤实业／提供

专注在光电半导体晶圆、光罩、玻璃传载盒供应商中勤实业，日前参加上海半导体（SEMICON China）展会，以｢智慧承载｣为主题，展出多款晶圆盒与光罩传载自动化解决方案。
伴随全球12/8英吋晶圆厂的快速建厂，开发一体成形晶圆框架提篮、12吋前开式晶圆传送盒FOUP、光罩自动化传输盒Reticle SMIF Pod，已进入半导体一线大厂使用。RSP150光罩智慧传载产品线，高耐磨耗材质，提供光罩超洁净的保护，杜绝空气中的微粒物质及有害物质析出污染，气密性优于同业，减少光罩Haze风险，搭配智慧料架、充气柜，系统整合提升存储作业速度。为客户解决产品良率、性能及可靠性等核心问题，并致力协助半导体制造工厂提升产能，迈入智慧化、物联网趋势。

上海半导体展现场观展人士反应热烈，询问度比起往年大幅成长。 中勤实业／提供
因应先进封装技术趋势，中勤开发多款支援自动化传输的高强度智慧载具，以及专为扇出型封装、其他先进封装设计的全密闭式大尺寸FOUP，此次展出反应热烈，询问度比起去年大幅成长。拥有成熟的自动化供料系统（AMHS）经验，从自动仓储Stocker及OHT、AGV、RGV、Lifter、Transfer运搬车等硬体，到MES、MCS及SECS／GEM软体等；均可提供上、下游整合供应链服务，一条龙的解决方案。帮助现有厂房导入高效、准确、灵活的自动化载具搬运传输，节省人力成本，提升理货速度，达到设备互联、资料共用、大资料分析，提供管理者最佳决策。中勤实业网址： www.zgxiaobb.com

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