2019-05-29 23:05经济日报 杨连基
光电半导体湿式制程工艺应用，干燥处理为制程中最重要的步骤，并决定了湿式制程的品质。专注在晶圆、光罩、玻璃传载盒供应商中勤实业，开发独创的nPF奈米塑材，有效解决业界在蚀刻技术上的问题。以｢新材料、新技术、新应用、新价值｣为主轴，于6月4日至6日在上海新国际博览中心参加国际太阳能光伏与智慧能源展（SNEC PV POWER EXPO），摊位号码E1-103，展出各类型储存载具及新产品开发成果。
中勤实业展出nPF奈米塑材及各类型储存载具。 中勤实业／提供
该公司创新开发的nPF奈米塑材，经氮化处里，材料本身佈满奈米气孔互通的组织，具有吸气、排气功能，能迅速分解水滴、排除水份， 以此材料特性应用到半导体产业使用的湿制程卡匣，解决气泡痕、水印痕等问题，日前经半导体大厂认证，缩短干燥时间达一半以上，减少50%以上的耗电量，有效节能减碳、增加产能，获得客户支持好评，已大幅应用于半导体全尺寸湿制程卡匣。
在光伏产业持续优化产品设计，中勤推出｢150 slot奈米侧链聚四氟乙烯卡匣」，将原有产能提升达1.5倍，可直接相容于原本的制程机台，搭配nPF奈米塑材，提高载具高分子塑材物性及高耐化学性、高耐温性，进而提升单晶制绒良率，有效增加光线吸收率，提高转换效率超过21%。并且使用「红外线穿透式热传导百点熔接法」的无缝隙技术，卡匣可防止在热涨冷缩的制程中酸硷溶液渗入、预防化学品交叉污染等问题。
中勤荣获多项认证、专利，跨足四大产业，整合各高科技行业制程环境过程中所需高分子材料，并设立碳纤维制品生产线，开发的玻璃基板卡匣已导入面板大厂10.5代生产线，从设计、模拟、测试、组装，提供客户全方位高度客制化的最佳服务。中勤实业电话（03）318-5300，网址：www.zgxiaobb.com。
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