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[SmartAuto 篮贯铭 报导] 2020年09月24日 星期四
客制化晶圆、光罩、玻璃传载及储存设备供应商中勤实业，在今年的SEMICON Taiwan展出一系列针对智慧制造、先进制程与绿色制造应用的解决方案。其中一款智能栈板物流箱为今年首度展出，并已获得科技大厂採用。

中勤表示，智能栈板物流箱内建RFID的功能，可以达成自动化出货追踪，且整体设计支援大型机械手臂的取放，且能配合无人车AGV进行搬运，目前该方案已经获得科技大厂採用。

长期以来，中勤就持续发展绿色厂房应用的各式方式，并与科技大厂合作开发全厂自动化智能各类型载具。其方案皆採高强度材质，抗震耐磨耗，援全自动搬运轨道系统AMHS，以及无人车AGV搬运，产品包含：晶圆传送盒FOUP、Frame Cassette、Magazine Cassette及Jedec Tray Cassette等智慧承载。

其中，最新开发的CKH300 FOUP，可有效应用于一般及薄化晶圆的承载，满载13pcs thin wafers，足以应对各式薄化晶圆之变形量及机械手臂的高相容性。

针对目前热门的5G及AI应用，第三代半导体正快速崛起，氮化鎵将会逐渐成为主流材料。中勤针对第三代半导体推出相应的方案，如氮化奈米氟、CFRP碳纤维复合材料、高洁净度低吸湿性材料等，依照客户需求的环境温度与材料特性提供最佳解决方案。

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