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亚洲第一信誉网晶圆盒吋别快速导览
● 150mm(6吋)
● 200mm(8吋)
● 300mm(12吋)

太阳能卡匣/载具系列
● Solar Cassette/Clean Cassette

业务谘询
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晶舟传送盒 / 晶舟自动化传送盒 / Wafer SMIF Pod 150mm(6吋)

● 产品名称：SMIF Pod / 晶舟传送盒

● 产品编码：WSP150

● 产品尺寸：
　 230(L) x 214.5(W) x 201.2(H)mm

● 重　　量：2297.5g

● 容　　量：1 Set 6”Wafer Cassette

● 适用圆形基底尺寸：150mm(6吋)晶圆

● 组成材质：PC/PC ESD

SMIF Pod 晶舟传送盒，传送盒内放置晶舟(Cassette)，可固定晶圆片，确保150mm晶圆在制程站间运送与储存的安全防护。尺寸皆符合SEMI规范，并提供高洁净度之晶圆承载与自动化解决方案。

6"晶舟传送盒

8"晶舟传送盒

● 专利字号：
台湾专利字号第M582948号

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