ウェーハサイズ ● 150mm ● 200mm ● 300mm
お问い合わせ ● 営业部 电话番号 +886-3-318-5300 FAX番号 +886-3-328-2290 Eメール:sales@ckplas.com 弊社の制品或いはサービスについて质问がございましたら、贵重なご意见をお书き顶くか、直接ご连络を顶けるようお待ちいております。
Reticle SMIF Pod / RSP150 6インチのRSP制品は、各工程にレチクルを安全に运ぶことが可能です。高い清浄度を维持することが出来る设计になっています。さらに自动化マシーンに応用している。N2 Purge机构を採用しているのでさらに内部の清浄度のあげることが出来る。 ASML、Nikon、Canon…などの関连RSPの制造工程/运送用マシーンに対応できる制品を提供できる。