ウェーハサイズ ● 150mm ● 200mm ● 300mm
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12インチ电动ウェーハ自动搬送/ウェーハ自动搬送は、プロセス変换中に异なるタイプのカセット内のウェーハを変换して移动します。 1.マンマシンインターフェース操作パネルを搭载 2. 送信侧车両と受信侧车両が适切に配置されているかを検出できる 3. システムはキャリア上にウェーハがあるかどうかを検出できます。 4. 非常停止ボタン