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● 制品名:200mm PEI ウエハカセット(Slim Type) |
● 部品番号 :PE-C200-T |
● 外形寸法:233.6 (L)x 203.3 (W)x 217.85 (H)mm |
● 重さ:932g |
● 収纳数:13 PCS |
● 丸形ベースサイズに适用:200mm ウエハ
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● 材质:PEI ESD |
● 沟ピッチ:12.7mm |
● 耐热温度:120°C |
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ウエハカセット 一般的な制造プロセスに使われる。ウェハーを载せるカセットである。各工程に搬送用として利用される。主に薄いウェハーを保存する场合は适している。
*保管ボックスと合わせてウェハーを安全に保护できる。 |
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材质 |
耐热温度 |
特徴 |
用途 |
Metal ウエハカセット |
280~300℃ |
耐热性に优 |
干燥制造工程 |
PFA ウエハカセット |
200~220℃ |
洗浄性、耐薬品性 |
化学用の制造 |
PP ウエハカセット |
40~60℃ |
軽量化 |
一般的な制造 |
PEEK ウエハカセット |
120℃ |
帯电防止、耐热性に优
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PC ウエハカセット |
80~100℃ |
安定性が良い |
PEI ウエハカセット |
130~150℃ |
耐热性に优
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● 印字付けることが可能となり、また、RFIDを付けて、治具及び、材料の追迹が可能とな |
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カセットにRFIDを付けることが可能です。 |
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カセットに印字を付けることが可能です。 |
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