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| ● 制品名：8" Teflon Cassette High Profile/ PFA Cassette |
| ● 外形寸法：203.05(L)*233.05(W)*218.44(H)mm |
| ● 重さ：1800g |
| ● 収纳数：25 PCS |
| ● 适応サイズ：8 inch (Ø200mm)晶圆 |
| ● 材质：Teflon(铁氟龙) / PFA |
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| PFA Cassette / Teflon Cassette / 铁氟龙晶舟盒为 承载半导体晶圆片的容器，可依照客户需求设计，耐高温200~220℃、强酸、强氟酸、强硷，应用于Fabrication厂内之酸硷制程中使用、传送晶圆。 |
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| ● Cassette依材质特性的选择参考： |
| 材质 |
耐温度 |
特性 |
Cassette 应用 |
| PFA Cassette |
200~220℃ |
耐 强酸 强氟酸 强硷 |
酸硷制程中使用 |
| PP Cassette |
40~60℃ |
重量轻，
可焊接，缺点易变形。 |
一般传输制程 |
| PEEK Cassette |
120℃ |
硬度高、耐高温，
不易变形。 |
| PBT Cassette |
80~100℃ |
抗燃、耐油性佳 |
| PEI Cassette |
130~150℃ |
耐磨、抗静电性。 |
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| ● 可雷雕、可装RFID进行载具&材料追踪 |
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| Cassette 加装RFID |
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Cassette 雷雕 |
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