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光罩盒 / RSP 150 / Mask SMIF Pod

亚洲第一信誉网晶圆盒/晶舟盒系列
(betway 西汉姆 )
● FOUP / FOSB / SMIF Pod
● Teflon / PFA Cassette
● PP / PEI / PC Cassette
● Metal / PEEK Cassette
● Shipping Box / Single Tray /
　 Storage Box
● 其他

亚洲第一信誉网晶圆盒吋别快速导览
● 150mm(6吋)
● 200mm(8吋)
● 300mm(12吋)

不銹钢客制化系列
●晶圆框架 Metal Frame /
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　雷雕刻字清洗服务

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信箱：sales@ckplas.com.cn

OHT光罩自动化传输盒 / OHT Reticle SMIF Pod / RSP150

● 产品名称：OHT光罩自动化传送盒

● 产品编码：RSP-CKPP-O

● 产品尺寸：
　229.8mm(L)*227.3mm(W)*91.8mm(H)

● 重　　量：1340g

● 容　　量：1 PCS

● 适用光罩：6025光罩
　　　6吋厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩

● 组成材质：PEEK

OHT光罩自动化传输盒 / OHT Reticle SMIF Pod / RSP150，高洁净度可杜绝空气中的污染，确保6吋光罩在制程站间运送与储存的安全防护，应用于自动化曝光机台。

具备洁净充气功能可对光罩传送盒内部做微环境的温溼度控制， Top Flange设计，支援AMHS之OHT快速传输。

可搭配曝光机、光罩检查机、POD自动化仓储(stocker)…等相关光罩制程、传输使用机台。厂牌如ASML、Nikon、KLA…等，符合SEMI SMIF规范之机台，皆有可相容的型号产品提供。

OHT光罩自动化传输盒 / OHT Reticle SMIF Pod / RSP150，具备洁净充气功能可对光罩传送盒内部做微环境的温溼度控制， Top Flange设计，支援AMHS之OHT快速传输。

吋别	材质	产品编码	充气功能	金属遮蔽	装箱数
ASYST ASML Pod	ABS	RSP-A-A	x	x	4 PCS
ASYSYT Metal Pod	ABS+SUS	RSP-A-M	x	v	4 PCS
ASYST NIKON Pod	ABS	RSP-A-N	x	x	4 PCS
BKM7 (RSP150)	PEEK	RSP-BKM7	v	v	4 PCS
UPPP (RSP150)	PEEK	RSP-UPPP	v	v	4 PCS
UPNP (RSP150)	PC	RSP-UPNP	x	x	4 PCS
CKPP (RSP150)	PEEK	RSP-CKPP	v	x	4 PCS
CKPP-O (RSP150)	PEEK	RSP-CKPP-O	v	v
CKAP (RSP150)	ABS	RSP-CKAP	v	x	4 PCS
Nikon Reticle Case	ABS+AL	NR-C150	x	x	14 PCS


RFID安装		条码贴纸		Run Cad 安装

UPNP / Reticle SMIF Pod / RSP150 光罩盒/光罩自动化传输盒/光罩载具