OHT Wafer SMIF Pod 200mm(8吋) / 晶舟自动化传送盒 / 晶舟传送盒

OHT Wafer SMIF Pod 200mm(8吋) / 晶舟自动化传送盒 / 晶舟传送盒，自动化传送盒内放置晶舟(Cassette)，可固定晶圆片，确保200mm晶圆在制程站间运送与储存的安全防护。尺寸皆符合SEMI规范，并提供高洁净度之晶圆承载与自动化解决方案。

OHT Wafer SMIF Pod 特点

● 供客户选择支援符合Top Flange设计，AMHS自动化传输。
● 高洁净度承载，选配充气功能，耐高温耐磨耗材质
● CHD三点定位接触设计，减少印痕
● 专利字号：
台湾专利字号第M582948号
● 可搭配RFID电子货架使用，可自动读取RFID，记录每个格位最近100笔RFID资料，并透过人机介面查询。