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> 中勤与美商英特格专利技术合作、生产及销售RSP自动化光罩盒
> 发布日期:2019-06-18
 
 

中勤为致力于光电半导体,专精在晶圆、光罩、玻璃自动化储存传载之专业制造商,中勤正式对外宣布与美商英特格(Nasdaq: ENTG)专利技术合作,得到RSP自动化光罩盒技术授权。

光电半导体客户正迈向智慧制造的工业4.0 时代,由于创新科技的物联网、机器人等技术,中勤也在这个工业时代制程中扮演重要角色,然而随着大环境的改变,在面对客户端制程升级时,中勤可立即提出相对应的技术及解决方案,与美商英特格合作更加相辅相成,未来的发展相当值得期待。

微电子产业特种化学品和材料解决方案之领导者英特格(Entegris)副总裁Paul Magoon表示:「英特格在提供解决客户端特定生产挑战时,由中勤所拓展相关技术及解决方案,使彼此的努力更加相得益彰。」中勤董事长陈延方表示:「授权关键技术,让中勤更加确信能为客户提供能解决其需求并且能立即适用的产品。」

随着半导体产业开始进入先进技术节点,保持光罩无缺陷的要求比以往任何时候都高。中勤为求精益求精精神,不断创新光罩的保护能力,包括降低关键的粒子污染挑战,配合客户制造产品所需提供超洁净的保护,强化自动化的气密性,减少Haze风险。

中勤与美商英特格专利技术合作、生产及销售RSP自动化光罩盒

 
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