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硅片盒/晶圆盒/花篮吋别快速导览
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| 中勤实验室微污染离子检测服务 Inspection services

 

中勤在射出成型领域,累积30余年的经验,逐步迈向研发、制造整合能力。 并于2013年,成立CLASS 1材料科学实验室,不仅仪器设备的种类数量和先进性在全国乃至同业处于领先地位,并同时拥有一群高素质的、富有经验和专业知识背景的技术团队。

全方位服务客户,无论是开发产品、专案或制程,都需要值得信赖的独立检验,特别是会影响半导体制程以及产品良率晶圆洁净度。中勤实验室推出『微污染离子检测服务』,将常见的污染例如金属元素、阴阳离子、表面有机物、微粒子等,进行原物料、零部件的材料释出测试、外观显像分析....等,降低晶圆、光罩产生雾状污染(Haze)、甚至是微粒造成电路短路的状况,协助客户减少因污染可能产生的耗损。

每一个阶段都善尽法律义务,达到您所期望的高标准,中勤实验室遵守各项管理规章,可协助在不同地区和市场降低风险、确保品质和准确性,提供高标准的检测服务。

服务项目

测试项目

原物料测试

材料释出测试(金属元素、阴阳离子、表面有机物)

零部件微粒洁净度测试

材料释出测试(金属元素、阴阳离子、表面有机物、微粒测试)、外观显像分析

超纯水系统品质测试

金属元素含量测试、阴阳离子含量测试、液体中微粒子分析

无尘室AMC检测

无尘室中有机气体分子分析、无尘室中无机气体分子分析、TVOC气体测试

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