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硅片盒/晶圆盒/花篮吋别快速导览
● 150mm(6寸)
● 200mm(8寸)
● 300mm(12寸)

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开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒 / Wafer SMIF Pod 200mm(8英寸)

● 产品名称：SMIF Pod / 自动化晶圆传送盒

● 产品编码：WSP200

● 产品尺寸：
　 292.2(L) x 282.8(W) x 253.6(H)mm

● 重　　量：2600g

● 容　　量：1 Set 8”Wafer Cassette

● 适用圆形衬底尺寸：200mm(8英寸)晶圆

● 组成材质：PC/PC ESD

SMIF Pod 开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒，自动化传送盒内放置晶圆芯片料盒(Cassette)，可固定晶圆片，进入SMIF上料口输送，确保200mm晶圆在制程站间运送与储存的安全防护。

● 高洁净度承载，选配充气功能，耐高温耐磨耗材质
● CHD三点定位接触设计，减少印痕

8" 开放式晶圆盒 / 自动化晶圆传送盒

底盘无螺丝设计版本

● 专利字号：
台湾专利字号第M582948号

● 可搭配RFID电子货架使用，自动读取RFID，记录每个格位最近100笔RFID资料，并透过人机介面查询。