OHTフォトマスク自动化転送ボックス / Reticle SMIF Pod

OHT光マスク自动化転送ボックス / OHT Reticle SMIF Pod / RSP150、高い清洁度で空気中の汚染を防ぎ、6インチ光マスクをプロセスステーション间で安全に输送および保管するための保护を确保し、自动露光装置に使用されています。

クリーンエアインフレーション机能を备え、光マスク输送ボックス内部のマイクロ环境の温度と溼度を制御し、Top Flange设计、AMHSのOHT高速転送をサポートしています。

露光装置、光マスク検査装置、POD自动仓库（stocker）など、関连する光マスク制造プロセス、転送用机器に対応できます。ASML、Nikon、KLAなどのブランド、SEMI SMIF仕様に准拠した机器には、互换性のあるモデルが提供されています。