硅片盒/晶圆盒/花篮吋别快速导览 ● 150mm(6寸) ● 200mm(8寸) ● 300mm(12寸)
方片玻璃承载系列 ● Square Glass Cassette ● 面板级扇出型封装系列
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一体成形,门片可使用机械自动化开启,密闭式、抗静电、轻量化。
支援原有机台载入、支援自动化传输系统、智慧料架自动化储存。
高强度 Top Flange,抗震耐磨。
● 专利字号: 台湾专利字号第M565877、M566707、M566903、M56690 号 中国专利字号第CN208400826U、CN208368484U、CN208538811U、CN208589423U、CN202323288643.4 号 美国专利字号第US10847394B2 号