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检验治具及检验系统

硅片盒/晶圆盒/花篮/半导体IC专用盒/包装盒/承载器
● FOUP / FOSB / SMIF Pod
● Teflon / PFA Cassette
● PP / PEI / PC Cassette
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● Shipping Box / Single Tray /
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● 其他

硅片盒/晶圆盒/花篮吋别快速导览
● 150mm(6寸)
● 200mm(8寸)
● 300mm(12寸)

不锈钢定制化系列
● 晶圆铁环/硅片研磨切割专用
Wafer Frame / Wafer Ring
雷雕刻字清洗服务

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● IC Tray / LED Tray / Frame / Frame Cassette / Frame Box

光罩传输系列
● 光罩盒 / RSP 150 /
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方片玻璃承载系列
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● 面板级扇出型封装系列

太阳能花篮/光伏花篮/硅片花篮/清洗花篮系列
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● Normal Cassette & 台车
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光电半导体设备
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● 总公司-台湾
窗口：李女士
电话：+886-3-318-5300 #202
传真：+886-3-328-2290
信箱：sales@ckplas.com

● 总经销-中国
窗口：李女士
电话：+86-512-83667689/90
传真：+86-512-83667691
信箱：sales@ckplas.com.cn

高效能光罩擦拭机+电子显微镜

● 产品名称：高效能光罩擦拭机+电子显微镜

● 容量：1pcs 6025光罩(含光罩盒)

高效能光罩擦拭机+电子显微镜
应用于6025光罩，清洁光罩。
Pellicle护盖可防止落尘污染。
防尘盖(Pellicle护盖)设计，预防护盖撞击Pellicle。
两组万向冷光LED灯，可调焦距及照度
双边移动擦拭座，擦拭棒采快速更换设计。
复归式把手，保持擦拭棒于预擦拭位置上方。
将电子显微镜崁入擦拭机后固定，透过萤幕即时确认光罩是否洁净，数位变焦可放大观看。

12" 13 slot C type FOUP
(薄片晶圆专用支撑)

12" 25 slot FOUP

12" 13 slot M type FOUP
(薄片晶圆专用支撑)

OHT Frame Light Cassette