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● 其他
 

硅片盒/晶圆盒/花篮吋别快速导览
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● 200mm(8寸)
● 300mm(12寸)

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| 耐高温晶圆盒 / 金属料盒 / 半导体花篮 / 晶舟盒 / 耐高温卡匣 / Metal Cassettem 300mm(12英寸)

 
耐高温卡匣300mm(12吋) / 铁制晶舟盒 / 金属晶舟盒 / 金属晶圆盒
产品规格
● 产品名称:12" Metal Cassette
● 产品编码:MT-C300-A
● 产品尺寸:
 476(L) x 315.5(W) x 338.35(H)mm
● 重  量:
● 容  量:25 PCS
● 适用圆形衬底尺寸:12 inch (Ø300mm)
● 组成材质:Metal
● 槽  距:10 mm
线上咨询
产品说明
耐高温卡匣300mm(12吋) / 铁制晶舟盒 / 金属晶舟盒 / 金属晶圆盒 耐高温卡匣300mm(12吋) / 铁制晶舟盒 / 金属晶舟盒 / 金属晶圆盒

耐高温晶圆盒 / 金属料盒 / 半导体花篮 / 晶舟盒 / 耐高温卡匣 / Metal Cassettem,承载半导体晶圆片/硅片的容器,使用在高温制程烘烤使用。可定制化设计及修改,坚固耐用、不易毁损,并防止Particle、沾污等问题。可应用于Load Port 机台。

耐高温晶圆盒 / 耐高温卡匣 / 金属料盒 / 花篮 / 晶舟盒 / Metal Cassettem

耐高温晶圆盒 / 耐高温卡匣 / 金属料盒 / 花篮 / 晶舟盒 / Metal Cassettem 2"~12"

寸别 备注 产品编码 尺寸(mm)
2" Metal Cassette 25 Slot MT-C050
142.6(L) x 62(W) x 58.5(H)
3" Metal Cassette 四柱款25 Slot MT-C075 143.2(L) x 89.6(W) x85(H)
4" Metal Cassette 25 Slot MT-C100-A 125.5(L) x 143(W) x 115(H)
4" Metal Cassette 50 Slot MT-C100-B 147.5(L) x 107(W) x115.5(H)
4" Metal Cassette 50 Slot MT-C100-C 147.5(L) x 107(W) x115.5(H)
4" Metal Cassette 12 Slot MT-C100-T 125.5(L) x 143(W) x 115(H)
6" Metal Cassette 25 Slot MT-C150-A 143.38(L) x 177.8(W) x 171.4(H)
6" Metal Cassette 四柱款25 Slot MT-C150-B 165.3(L) x 143(W) x 159(H)
6" Metal Cassette 50 Slot MT-C150-C 158(L) x 176(W) x 165.5(H)
6" Metal Cassette 12 Slot MT-C150-T 143.38(L)x177.8(W x171.33(H)
8" Metal Cassette 25 Slot MT-C200-A 214(L) x 202.7(W) x 206(H)
8" Metal Cassette 25 Slot MT-C200-B 205.54(L)x240(W)x218.94(H)
12" Metal Cassette 25 Slot MT-C300 312(L) x 388.8(W) x 316.8(H)
12" Metal Cassette 25 Slot MT-C300-A 476(L) x 315.5(W) x 338.35(H)

 

产品特点
● Cassette依材质特性的选择参考:
材质 耐温度 特性 Cassette 应用
PFA Cassette 200~220℃ 耐 强酸 强氟酸 强碱 酸碱制程
Metal Cassette
耐高温卡匣
280~300℃ 可定制化设计及修改,坚固耐用、不易毁损,并防止Particle、沾污等问题。 高温制程
PP Cassette 40~60℃ 重量轻,
可焊接,缺点易变形。
一般传输制程
PEEK Cassette 150~200℃ 硬度高、耐磨,
不易变形。
PC Cassette 80~100℃ 尺寸安定性佳、耐候性佳、不易应力变形
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗静电性。
定制化项目
● 可雷雕、可装RFID进行载具&材料追踪
加装RFID   雷雕
加装RFID   Cassette 雷雕
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