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● 150mm(6寸)
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|150mm(6英寸) PEEK Cassette / 耐温晶舟 / 防静电花篮 / 半导体花篮

 
150mm(6英寸) PEEK Cassette / 耐温晶舟 / 防静电花篮 / 半导体花篮
产品规格
● 产品名称:6" PEEK Cassette
● 产品编码:PK-C150
● 产品尺寸:
 142.0(L) x 177.4(W) x 171.3(H)mm
● 重  量:369g
● 容  量:25 PCS
● 适用圆形衬底尺寸:6 inch (Ø150mm)
● 组成材质:PEEK ESD
● 槽  距:4.76 mm
线上咨询
产品说明

PEEK Cassette / 耐温晶舟 / 防静电花篮 / 半导体花篮 承载半导体晶圆片的容器,使用在站别运输或出货用途,耐温、耐磨、防静电造成晶圆损坏。

寸别 产品编码 尺寸(mm) 装箱数
4" PEEK Cassette PK-C100
142.0(L) x 125.5(W) x 114.5(H) 20 PCS
6" PEEK Cassette PK-C150 142.0(L) x 177.4(W) x 171.3(H) 12 PCS
6.125" PEEK Cassette PK-C155 143.5(L) x 177.8(W) x 171.45(H) 12 PCS
6.3" PEEK Cassette PK-C160 182.5(L) x 187(W) x 144(H)  
8" PEEK Cassette
25 slot 无把手
PK-C200 233.2(L) x 201.5(W) x 221.4(H) 6 PCS
8" PEEK Cassette
25 slot 有把手
PK-C200-H 233.2(L) x 218.5(W) x 221.4(H) 6 PCS
8" PEEK Cassette
13 slot有把手
PK-C200-T 235(L) x 202.54(W) x 218.94(H) 6 PCS

 

产品特点
● 耐高温、高耐磨、高稳定性、抗静电性材料
● 厂内传送使用
● 可搭配4" Storage Box晶圆盒气密保护晶圆
● Cassette依材质特性的选择参考:
材质 耐温度 特性 Cassette 应用
PP Cassette 40~60℃ 重量轻,
可焊接,缺点易变形。
一般传输制程
PEEK Cassette 120℃ 硬度高、耐磨,
不易变形。
PC Cassette 80~100℃ 尺寸安定性佳、耐候性佳、不易应力变形。
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗静电性。
定制化项目
● 可雷雕、可装RFID进行载具&材料追踪
加装RFID   雷雕
加装RFID   Cassette 雷雕
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