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检验治具及检验系统

硅片盒/晶圆盒/花篮/半导体IC专用盒/包装盒/承载器
● FOUP / FOSB / SMIF Pod
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● Shipping Box / Single Tray /
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● 其他

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● 150mm(6寸)
● 200mm(8寸)
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● 总公司-台湾
窗口：李女士
电话：+886-3-318-5300 #202
传真：+886-3-328-2290
信箱：sales@ckplas.com

● 总经销-中国
窗口：李女士
电话：+86-512-83667689/90
传真：+86-512-83667691
信箱：sales@ckplas.com.cn

高效能光罩除尘机/点Pellicle Particle机台

● 产品名称：高效能光罩除尘机/点Pellicle Particle机台

● 容量：1pcs 6012/6025光罩(含光罩盒)

高效能光罩除尘机，应用于6012、6025光罩
用无水酒精去除光罩pellicle上面的脏污
配有两组万向冷光LED灯，可微调角度
吸气装置可调整吸气位置，适应不同高度的护膜框架
使用方式：
1. 滴入无水酒精
2. 滚动带走Pellicle上的Particle
3. 吸气装置将无水酒精吸除，完成光罩Pellicle除尘

● 专利字号：
中国专利字号第CN207457699U号

12" 13 slot C type FOUP
(薄片晶圆专用支撑)

12" 25 slot FOUP

12" 13 slot M type FOUP
(薄片晶圆专用支撑)

OHT Frame Light Cassette