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硅片盒/晶圆盒/花篮吋别快速导览
● 150mm(6寸)
● 200mm(8寸)
● 300mm(12寸)

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PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙晶圆盒 150mm(6英寸) 12 Slot

● 产品名称：6" Teflon Cassette / PFA Cassette

● 产品编码：PF-C150-T

● 产品尺寸：
　 177(L) x 145(W) x 173(H)mm

● 重　　量：860g

● 容　　量：12 PCS

● 适用圆形衬底尺寸：6 inch (Ø150mm)

● 组成材质：Teflon(铁氟龙) / PFA

● 槽　　距：9.525mm

铁氟龙晶圆盒 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙卡匣为承载半导体晶圆片的容器，可依照客户需求设计，耐高温200~220℃、强酸、强氟酸、强碱，应用于Fabrication厂内之酸碱制程中使用、传送晶圆。槽距较大的设计，可应用于薄片晶圆。

进入化学酸、碱蚀刻制程中，铁氟龙卡匣需要靠手把夹持，可搭配铁氟龙手把使用。

PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙晶圆盒 8" 12" 13 slot

PFA花篮 / Teflon Cassette / PFA Cassette 全尺寸编码列表
寸别	备注	产品编码	尺寸	装箱数
2"	无豆	PF-C050-B	142.1(L) x 67.8(W) x 59.00(H)mm	10 PCS
2"	有豆	PF-C050	142.1(L) x 67.8(W) x 59.0(H)mm	10 PCS
2.5"		PF-C060	142(L) x 79(W) x 73(H)mm	N/A
3"		PF-C075	142.49(L) x 94.36(W) x 82.53(H)mm	1 PCS
4"		PF-C100	142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm	16 PCS
4"	镂空	PF-C100-H	142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm	16 PCS
5"		PF-C125	152.4(L) x 142.88(W) x 146.05(H)mm	6 PCS
6"		PF-C150	143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm	12 PCS
6"	黑色	PF-C150-B	143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm	12 PCS
6"	12 Slot	PF-C150-T	177.8(L) x 143.38(W) x 171.45(H)mm	12 PCS
6"	Low Profile	PF-C150-L	143.38(L) x 177.81(W) x 114.3(H)mm	12 PCS
8"		PF-C200	203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm	2PCS
8"	镂空	PF-C200-H	203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm	2PCS
8"	13 Slot	PF-C200-T	203.05(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm	2PCS
8"	Low Profile	PF-C200-L	220.5(L) x 234.19(W) x 159(H)mm	1 PCS
12"	13 Slot	PF-C300-T	350(L) x 180(W) x 320(H)mm	N/A

● Cassette依材质特性的选择参考：

● 可雷雕、可装RFID进行载具&材料追踪


铁氟龙晶圆盒 / Cassette 加装RFID		铁氟龙晶圆盒 / Cassette 雷雕