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硅片盒/晶圆盒/花篮吋别快速导览
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| 光罩传输盒 / 光罩传送盒 / 光罩自动化传输盒 / ASYST ASML Pod
 
光罩传输盒
产品规格
● 产品名称：
ASYST ASML Pod 光罩自动化传输盒
● 产品编码：RSP-A-A
● 产品尺寸：230(L) x 214.5(W) x 92(H)mm
● 重　　量：1298.5g
● 容　　量：1 PCS
● 适用光罩：6025光罩
　　　6英寸厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩
● 组成材质：ABS / PC
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产品说明

光罩传输盒 / 光罩传送盒 / 光罩自动化传输盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150，高洁净度可杜绝空气中的污染，确保6英寸光罩在制程站间运送与储存的安全防护，应用于自动化机台。ASYST ASML Pod适用于ASML曝光机。

寸别 材质 产品编码 充气功能 金属遮蔽 装箱数
ASYST ASML Pod
 ABS RSP-A-A x x 4 PCS
ASYSYT Metal Pod ABS+SUS RSP-A-M x v 4 PCS
ASYST NIKON Pod ABS RSP-A-N x x 4 PCS
BKM7 (RSP150) PEEK RSP-BKM7 v v 4 PCS
UPPP (RSP150) PEEK RSP-UPPP v v 4 PCS
UPNP (RSP150) PC RSP-UPNP x x 4 PCS
CKPP (RSP150) PEEK RSP-CKPP v x 4 PCS
CKAP (RSP150) ABS RSP-CKAP v x 4 PCS
Nikon Reticle Case ABS+AL NR-C150 x x 14 PCS
定制化项目
光罩传输盒RFID安装   光罩传输盒条码贴纸   光罩传输盒Run Cad 安装
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