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| ● 产品名称：Double Slot Cassette |
● 产品编码：
无舌片款：DB-C200-T
有舌片款：DB-C200-B |
● 产品尺寸：
240(L) x 250(W) x 225(H)mm(8") |
| ● 重 量：900g |
| ● 容 量：13 PCS |
| ● 适用圆形衬底尺寸：6 inch / 8 inch |
| ● 组成材质：定制化 |
| ● 槽 距：12.7mm |
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制程晶舟/ 晶片花篮/ 晶圆承载/ 半导体花篮/ 晶舟盒/ Wafer Cassette ，承载半导体晶圆片/硅片的容器，专为薄片(薄晶圆/薄硅片) 或加厚晶圆设计，可有效改善晶片翘曲thin wafer warpage(bending)的问题，使用在一般制程站别周转，定制化材质。
● 厂内周转使用
● 可搭配Storage Box晶圆盒气密保护晶圆 |
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| 8英寸Double Slot Cassette-无舌片 |
6英寸Double Slot Cassette-有舌片 |
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| 材质 |
耐温度 |
特性 |
Cassette 应用 |
| PFA Cassette |
200~220℃ |
耐 强酸 强氟酸 强碱 |
酸碱制程中使用 |
| PP Cassette |
40~60℃ |
重量轻，可焊接。 |
一般传输制程 |
| PEEK Cassette |
120℃ |
硬度高、耐磨，
不易变形。 |
| PC Cassette |
80~100℃ |
尺寸安定性佳、耐候性佳、不易应力变形 |
| PEI Cassette |
130~150℃ |
耐磨、抗静电性。 |
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| ● 可雷雕、可装RFID进行载具&材料追踪 |
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| 制程晶舟 Cassette 加装RFID |
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制程晶舟 Cassette 雷雕 |
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