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| ● 产品名称：8" 13 Slot Special Wafer Cassette / 制程耐温密封卡匣 |
| ● 产品编码：PE-C200-S |
| ● 产品尺寸：292.2(L) x 220.53(W) x 325.88(H)mm |
| ● 重 量：2130g |
| ● 容 量：13 PCS |
● 适用圆形衬底尺寸：8 inch (Ø200mm)
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| ● 组成材质：PEI |
| ● 槽 距：18.5mm |
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8" 13 Slot Special Wafer Cassette(PEI Cassette) / 制程耐温密封卡匣 / 耐温制程花篮，承载薄片晶圆(薄晶圆/薄硅片)用于一般制程，可耐温120度，附盖设计，加盖后预防落尘可直接做传输使用。 Cassette 设计有机械夹板，支援自动化传输，并有RunCard设计。
 
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| 材质 |
耐温度 |
特性 |
Cassette 应用 |
| PFA Cassette |
200~220℃ |
耐 强酸 强氟酸 强碱 |
酸碱制程中使用 |
| PP Cassette |
40~60℃ |
重量轻，可焊接。 |
一般传输制程 |
| PEEK Cassette |
120℃ |
硬度高、耐磨，
不易变形。 |
| PC Cassette |
80~100℃ |
尺寸安定性佳、耐候性佳、不易应力变形 |
| PEI Cassette |
120℃ |
耐磨、抗静电性。 |
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| ● 可雷雕、可装RFID进行载具&材料追踪 |
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| 制程晶舟 Cassette 加装RFID |
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制程晶舟 Cassette 雷雕 |
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