光罩传送盒 / 光罩自动化传输盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150，高洁净度可杜绝空气中的污染，确保6英寸光罩在制程站间运送与储存的安全防护，应用于自动化曝光机台。
另区分Purge and Non Purge(具备洁净充气功能可对光罩传送盒内部做微环境的温溼度控制)
可搭配曝光机、光罩检查机、POD自动化仓储(stocker)…等相关光罩制程、传输使用机台。厂牌如ASML、Nikon、KLA…等，符合SEMI SMIF规范之机台，皆有可相容的型号产品提供。
| 寸别 |
材质 |
产品编码 |
充气功能 |
金属遮蔽 |
装箱数 |
ASYST ASML Pod
|
ABS |
RSP-A-A |
x |
x |
4 PCS |
| ASYSYT Metal Pod |
ABS+SUS |
RSP-A-M |
x |
v |
4 PCS |
| ASYST NIKON Pod |
ABS |
RSP-A-N |
x |
x |
4 PCS |
| BKM7 (RSP150) |
PEEK |
RSP-BKM7 |
v |
v |
4 PCS |
| UPPP (RSP150) |
PEEK |
RSP-UPPP |
v |
v |
4 PCS |
| UPNP (RSP150) |
PC |
RSP-UPNP |
x |
x |
4 PCS |
| CKPP (RSP150) |
PEEK |
RSP-CKPP |
v |
x |
4 PCS |
| CKAP (RSP150) |
ABS |
RSP-CKAP |
v |
x |
4 PCS |
| Nikon Reticle Case |
ABS+AL |
NR-C150 |
x |
x |
14 PCS |
|
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