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Panel FOUP 510x515 / Panel Level Packaging Panel FOUP / Fan-out Panel Level Packaging FOUP (FoPLP FOUP),应用于面板级扇出型封装,Panel FOUP(FoPLP FOUP)承载大面积及超薄载体,大尺寸、多层式客制化设计,对降低制程成本有显着的助益,支援自动化传输(AMHS)、导入、机械开启,协助新兴技术、特殊工艺的客制化需求,异质整合最佳自动化助力。
Panel FOUP 510x515 / FoPLP FOUP特点
● 一体成型设计,高强度且轻薄化、低共振性,达到优越气密效果。
● 简化零件,减少零件松脱及避免藏污纳垢,更能确保自动化操作安全和可靠。
● 抗静电,低发尘、耐磨耗,Support 以CFRP特殊工法制造,具备高承载刚性。
● 符合SEMI standard (E181, E181.1~E181.4)
● 专利字号:
台湾专利字号第M552477、M552478、 M588105、M588108、M588355号
中国专利字号第CN210556833U号 |