硅片盒/晶圆盒/花篮吋别快速导览 ● 150mm(6寸) ● 200mm(8寸) ● 300mm(12寸)
方片玻璃承载系列 ● Square Glass Cassette ● 面板级扇出型封装系列
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● 一体成型设计,高强度且轻薄化、低共振性,达到优越气密效果。 ● 简化零件,减少零件松脱及避免藏污纳垢,更能确保自动化操作安全和可靠。 ● 抗静电,低发尘、耐磨耗,Support 以CFRP特殊工法制造,具备高承载刚性。 ● 符合SEMI standard (E181, E181.1~E181.4) ● 专利字号: 台湾专利字号第M552477、M552478、 M588105、M588108、M588355号 中国专利字号第CN210556833U号