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|OHT光罩自动化传送盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150
 
OHT光罩自动化传送盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150
产品规格
● 产品名称：OHT光罩自动化传送盒
● 产品编码：RSP-CKPP-O
● 产品尺寸：
　229.8mm(L)*227.3mm(W)*91.8mm(H)
● 重　　量：1340g
● 容　　量：1 PCS
● 适用光罩：6025光罩
　　　6英寸厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩
● 组成材质：PEEK
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产品说明

OHT光罩自动化传输盒 / OHT Reticle SMIF Pod / RSP150，高洁净度可杜绝空气中的污染，确保6吋光罩在制程站间运送与储存的安全防护，应用于自动化曝光机台。

具备洁净充气功能可对光罩传送盒内部做微环境的温湿度控制， Top Flange设计，支援AMHS之OHT快速传输。

可搭配曝光机、光罩检查机、POD自动化仓储(stocker)…等相关光罩制程、传输使用机台。 厂牌如ASML、Nikon、KLA…等，符合SEMI SMIF规范之机台，皆有可相容的型号产品提供。

 OHT光罩自动化传输盒 / OHT Reticle SMIF Pod / RSP150，高洁净度可杜绝空气中的污染，确保6吋光罩在制程站间运送与储存的安全防护，应用于自动化曝光机台。 具备洁净充气功能可对光罩传送盒内部做微环境的温湿度控制， Top Flange设计，支援AMHS之OHT快速传输。 可搭配曝光机、光罩检查机、POD自动化仓储(stocker)…等相关光罩制程、传输使用机台。 厂牌如ASML、Nikon、KLA…等，符合SEMI SMIF规范之机台，皆有可相容的型号产品提供。

 

寸别 材质 产品编码 充气功能 金属遮蔽 装箱数
ASYST ASML Pod
 ABS RSP-A-A x x 4 PCS
ASYSYT Metal Pod ABS+SUS RSP-A-M x v 4 PCS
ASYST NIKON Pod ABS RSP-A-N x x 4 PCS
BKM7 (RSP150) PEEK RSP-BKM7 v v 4 PCS
UPPP (RSP150) PEEK RSP-UPPP v v 4 PCS
UPNP (RSP150) PC RSP-UPNP x x 4 PCS
CKPP (RSP150) PEEK RSP-CKPP v x 4 PCS
CKPP-O (RSP150) PEEK RSP-CKPP-O v v  
CKAP (RSP150) ABS RSP-CKAP v x 4 PCS
Nikon Reticle Case ABS+AL NR-C150 x x 14 PCS
定制化项目
RFID安装   条码贴纸   Run Cad 安装
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