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FOUP/FOSB/Wafer SMIF Pod

硅片盒/晶圆盒/花篮/半导体IC专用盒/包装盒/承载器
● FOUP / FOSB / SMIF Pod
● Teflon / PFA Cassette
● PP / PEI / PC Cassette
● Metal / PEEK Cassette
● Shipping Box / Single Tray /
Storage Box
● 其他

硅片盒/晶圆盒/花篮吋别快速导览
● 150mm(6寸)
● 200mm(8寸)
● 300mm(12寸)

不锈钢定制化系列
● 晶圆铁环/硅片研磨切割专用
Wafer Frame / Wafer Ring
雷雕刻字清洗服务

封装测试系列
● IC Tray / LED Tray / Frame / Frame Cassette / Frame Box

光罩传输系列
● 光罩盒 / RSP 150 /
Mask SMIF Pod0

方片玻璃承载系列
● Square Glass Cassette
● 面板级扇出型封装系列

太阳能花篮/光伏花篮/硅片花篮/清洗花篮系列
● Solar Cassette/Clean Cassette

基板卡匣/液晶面板卡匣
● Normal Cassette & 台车
 ● TFT-LCD Robot Fork工程实绩

光电半导体设备
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塑胶钢模制造
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● 板棒材加工 / 零组件 / 加工组件

无尘室洁净清洗组装及设备
● 无尘室清洗介绍
● 无尘室洁净清洗机

实验室检测服务
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业务咨询
● 总公司-台湾
窗口：李女士
电话：+886-3-318-5300 #202
传真：+886-3-328-2290
信箱：sales@ckplas.com

● 总经销-中国
窗口：李女士
电话：+86-512-83667689/90
传真：+86-512-83667691
信箱：sales@ckplas.com.cn

晶圆传输盒 / 前开式晶圆传送盒 200mm(8英寸) FOUP

● 产品名称：FOUP 晶圆传输盒

● 产品编码：CK213

● 产品尺寸：
　252.5(L) x 224.2(W) x 213(H)mm

● 重　　量：2930g

● 容　　量：13 PCS

● 适用圆形衬底尺寸：200mm(8英寸)晶圆

● 组成材质：定制化

● 槽　　距：12.7 mm

200mm FOUP 晶圆传输盒 / 前开式晶圆传送盒，可保护、运送、并储存200mm晶圆，在运输传载及储存时提供安全防护。降低因不同工艺步骤产生的晶圆微尘污染与损失，进而促进良率、提高产量，避免晶圆受静电损害，设计用于在受控环境中安全可靠地固定硅片，并允许晶片在机器之间转移以进行处理或测量。支援AMHS功能，提供高洁净度之晶圆承载与自动化解决方案。

● 专利字号：
台湾专利字号第I586597、M563421、M588109、M628876、M625383、M654854号
中国专利字号第CN204348693U、CN205609490U、 CN206259327U、CN208007736U、CN210654281U 号
韩国专利字号第20-0486265号

12" 25 slot
晶圆传输盒

8" Wafer SMIF Pod

12" 13 slot M type
晶圆传输盒

FOUP 专用钥匙