硅片盒/晶圆盒/花篮吋别快速导览 ● 150mm(6寸) ● 200mm(8寸) ● 300mm(12寸)
方片玻璃承载系列 ● Square Glass Cassette ● 面板级扇出型封装系列
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600mm 面板级封装FOUP / Panel FOUP/ 方片FOUP,GL-FP600-S1 可承载Glass Panel、PCB载板、方片玻璃。 600mm 面板级封装FOUP应用于面板级扇出型封装制程,承载大面积及超薄载体,大尺寸、多层式客制化设计,对降低制程成本有显着的助益,支援自动化传输(AMHS)、 导入、机械开启,协助新兴技术、特殊工艺的客制化需求,600mm 面板级封装FOUP为异质整合最佳自动化助力。
● 简化零件,减少零件松脱及避免藏污纳垢,更能确保自动化操作安全和可靠。 ● 低发尘、耐磨耗,Support 以CFRP特殊工法制造,具备高承载刚性。 ● 充气设计2进2出,提供高洁净度承载。 ● 专利字号: 台湾专利字号第M552477、M552478、 M588105、M588108、M588355号 中国专利字号第CN210556833U号